钙钛矿型介质薄膜的制备及其晶体结构的研究
개태광형개질박막적제비급기정체결구적연구
Preparation of Perovskite Type Dielectric Thin Films and Study on Their Crystal Sructure
  • 万方数据
    长春理工大学学报 장춘리공대학학보
    JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
    2003年 4期 27-28,42 ,共3页

    关效贤%孙晶%李建利%曾繁明%万玉春%张亮%刘景和

    관효현%손정%리건리%증번명%만옥춘%장량%류경화

    脉冲激光沉积法%外延生长%薄膜 脈遲激光沉積法%外延生長%薄膜
    맥충격광침적법%외연생장%박막
    采用脉冲激光沉积法,在SrTiO3基片上,外延生长超导薄膜YBCO、半导体薄膜PB-CO和铁电体薄膜BaTiO3.利用X-射线衍射分析方法,研究了过程参量、基板温度、气体压力和激光通量等因素对膜的晶体结构和电子性能的影响.
    채용맥충격광침적법,재SrTiO3기편상,외연생장초도박막YBCO、반도체박막PB-CO화철전체박막BaTiO3.이용X-사선연사분석방법,연구료과정삼량、기판온도、기체압력화격광통량등인소대막적정체결구화전자성능적영향.
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