稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2007年
3期
412-415
,共4页
申雁鸣%贺洪波%邵淑英%范正修%邵建达
申雁鳴%賀洪波%邵淑英%範正脩%邵建達
신안명%하홍파%소숙영%범정수%소건체
HfO2薄膜%残余应力%膜厚%电子束蒸发
HfO2薄膜%殘餘應力%膜厚%電子束蒸髮
HfO2박막%잔여응력%막후%전자속증발
HfO2薄膜是用电子束蒸发方法制备的,利用ZYGO干涉仪测量了基片镀膜前后曲率半径的变化,计算了薄膜应力.对样品进行了XRD测试,讨论了膜厚对薄膜残余应力的影响.结果发现不同厚度HfO2薄膜的残余应力均为张应力,应力值随薄膜厚度的增加而减小,当薄膜厚度达到一定值后,应力值趋于稳定.从微观结构变化对实验结果进行了分析,发现微结构演变引起的本征应力变化是引起薄膜残余应力改变的主要因素.
HfO2薄膜是用電子束蒸髮方法製備的,利用ZYGO榦涉儀測量瞭基片鍍膜前後麯率半徑的變化,計算瞭薄膜應力.對樣品進行瞭XRD測試,討論瞭膜厚對薄膜殘餘應力的影響.結果髮現不同厚度HfO2薄膜的殘餘應力均為張應力,應力值隨薄膜厚度的增加而減小,噹薄膜厚度達到一定值後,應力值趨于穩定.從微觀結構變化對實驗結果進行瞭分析,髮現微結構縯變引起的本徵應力變化是引起薄膜殘餘應力改變的主要因素.
HfO2박막시용전자속증발방법제비적,이용ZYGO간섭의측량료기편도막전후곡솔반경적변화,계산료박막응력.대양품진행료XRD측시,토론료막후대박막잔여응력적영향.결과발현불동후도HfO2박막적잔여응력균위장응력,응력치수박막후도적증가이감소,당박막후도체도일정치후,응력치추우은정.종미관결구변화대실험결과진행료분석,발현미결구연변인기적본정응력변화시인기박막잔여응력개변적주요인소.
