材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2009年
18期
1-4
,共4页
唐元洪%张恩磊%谭艳%林良武%张勇%郭池
唐元洪%張恩磊%譚豔%林良武%張勇%郭池
당원홍%장은뢰%담염%림량무%장용%곽지
纳米金刚石薄膜%双偏压%热丝-等离子化学气相沉积%原子力显微镜
納米金剛石薄膜%雙偏壓%熱絲-等離子化學氣相沉積%原子力顯微鏡
납미금강석박막%쌍편압%열사-등리자화학기상침적%원자력현미경
采用双偏压辅助热丝一等离子增强化学沉积系统制备了纳米金刚石薄膜.采用AFM、SEM、Raman等考察了不同工艺条件对纳米金刚石薄膜形貌、粗糙度、内部结构等的影响.结果表明,热丝温度降低,所形成薄膜的晶粒尺寸变大,薄膜表面高低起伏较大,粗糙度也随之增大;随着射频输出功率的增大,等离子体轰击基底的能力增强,但过大的功率会使构成薄膜的晶粒变大;随着偏压的不断增大,氢离子体对薄膜表面的刻蚀程度逐渐增大,从而有利于形成纳米金刚石薄膜.
採用雙偏壓輔助熱絲一等離子增彊化學沉積繫統製備瞭納米金剛石薄膜.採用AFM、SEM、Raman等攷察瞭不同工藝條件對納米金剛石薄膜形貌、粗糙度、內部結構等的影響.結果錶明,熱絲溫度降低,所形成薄膜的晶粒呎吋變大,薄膜錶麵高低起伏較大,粗糙度也隨之增大;隨著射頻輸齣功率的增大,等離子體轟擊基底的能力增彊,但過大的功率會使構成薄膜的晶粒變大;隨著偏壓的不斷增大,氫離子體對薄膜錶麵的刻蝕程度逐漸增大,從而有利于形成納米金剛石薄膜.
채용쌍편압보조열사일등리자증강화학침적계통제비료납미금강석박막.채용AFM、SEM、Raman등고찰료불동공예조건대납미금강석박막형모、조조도、내부결구등적영향.결과표명,열사온도강저,소형성박막적정립척촌변대,박막표면고저기복교대,조조도야수지증대;수착사빈수출공솔적증대,등리자체굉격기저적능력증강,단과대적공솔회사구성박막적정립변대;수착편압적불단증대,경리자체대박막표면적각식정도축점증대,종이유리우형성납미금강석박막.
