皮秒激光CVD金刚石膜打孔温度场仿真
피초격광CVD금강석막타공온도장방진
Simulation Study of Temperature Field of Diamond Film Drilled by Picosecond Pulse Laser
  • 万方数据
    机械制造与自动化 궤계제조여자동화
    JIANGSU MACHINE BUILDING & AUTOMATION
    2010年 3期 106-110 ,共5页

    何家源%徐锋%吴小军%段振中%周云霞%姚佳%左敦稳

    하가원%서봉%오소군%단진중%주운하%요가%좌돈은

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    建立了皮秒激光在CVD金刚石膜打孔时的瞬态热传导三维物理模型并利用ANSYS对过程进行了仿真,分析了温度场的空间变化规律以及温度场随时间变化趋势,将仿真值和实验结果进行了对比,在此基础上研究了激光能量,脉冲宽度,重复频率等对打孔品质的影响.
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