传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2010年
11期
61-63,66
,共4页
微机电系统%声表面波%陀螺仪%SAW谐振器%SAW传感器
微機電繫統%聲錶麵波%陀螺儀%SAW諧振器%SAW傳感器
미궤전계통%성표면파%타라의%SAW해진기%SAW전감기
采用耦合模(COM)理论对声表面波(SAW)谐振器进行数字模拟,并采用梅森(Mason)正交场模型对陀螺仪和传感器进行模拟设计,最后对SAW谐振器和SAW传感器进行实验评价.这种陀螺仪具有额外的能力,可以作为无线陀螺仪和集成在SAW加速度传感器上.
採用耦閤模(COM)理論對聲錶麵波(SAW)諧振器進行數字模擬,併採用梅森(Mason)正交場模型對陀螺儀和傳感器進行模擬設計,最後對SAW諧振器和SAW傳感器進行實驗評價.這種陀螺儀具有額外的能力,可以作為無線陀螺儀和集成在SAW加速度傳感器上.
채용우합모(COM)이론대성표면파(SAW)해진기진행수자모의,병채용매삼(Mason)정교장모형대타라의화전감기진행모의설계,최후대SAW해진기화SAW전감기진행실험평개.저충타라의구유액외적능력,가이작위무선타라의화집성재SAW가속도전감기상.
