真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
2期
174-177
,共4页
熊学慧%徐雪波%鲍明东%孙海林
熊學慧%徐雪波%鮑明東%孫海林
웅학혜%서설파%포명동%손해림
磁控溅射%减摩镀层%硬度%摩擦系数
磁控濺射%減摩鍍層%硬度%摩抆繫數
자공천사%감마도층%경도%마찰계수
应用闭合磁场非平衡磁控溅射离子镀技术,制备了不同Ti含量的MoS2合金减摩镀层,研究了添加元素Ti含量对镀层厚度、硬度、摩擦系数等的影响规律.结果表明MoS2合金减摩镀层的厚度与添加元素Ti溅射靶的输入功率无关,其硬度随Ti含量增加而提高.不同Ti含量的镀层摩擦系数呈现出不同的变化规律.Ball-on-disc 球盘摩擦磨损试验结果显示高载荷时可能因产生转移膜而使摩擦系数呈减小趋势.
應用閉閤磁場非平衡磁控濺射離子鍍技術,製備瞭不同Ti含量的MoS2閤金減摩鍍層,研究瞭添加元素Ti含量對鍍層厚度、硬度、摩抆繫數等的影響規律.結果錶明MoS2閤金減摩鍍層的厚度與添加元素Ti濺射靶的輸入功率無關,其硬度隨Ti含量增加而提高.不同Ti含量的鍍層摩抆繫數呈現齣不同的變化規律.Ball-on-disc 毬盤摩抆磨損試驗結果顯示高載荷時可能因產生轉移膜而使摩抆繫數呈減小趨勢.
응용폐합자장비평형자공천사리자도기술,제비료불동Ti함량적MoS2합금감마도층,연구료첨가원소Ti함량대도층후도、경도、마찰계수등적영향규률.결과표명MoS2합금감마도층적후도여첨가원소Ti천사파적수입공솔무관,기경도수Ti함량증가이제고.불동Ti함량적도층마찰계수정현출불동적변화규률.Ball-on-disc 구반마찰마손시험결과현시고재하시가능인산생전이막이사마찰계수정감소추세.
