西华大学学报（自然科学版）
西華大學學報（自然科學版）
서화대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIHUA UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2012年
3期
77-80
,共4页
张静%丁士华%杨晓静%宋天秀%涂伟%王红妮
張靜%丁士華%楊曉靜%宋天秀%塗偉%王紅妮
장정%정사화%양효정%송천수%도위%왕홍니
溶胶-凝胶%TiO2%锐钛矿结构%热处理工艺参数
溶膠-凝膠%TiO2%銳鈦礦結構%熱處理工藝參數
용효-응효%TiO2%예태광결구%열처리공예삼수
采用溶胶一凝胶法和旋涂工艺,以钛酸丁酯、冰乙酸、乙酰丙酮、无水乙醇、去离子水为原料,制取TiO2薄膜,研究热处理工艺对TiO2成膜性的影响,结果表明,获得均匀连续的TiO2薄膜的工艺参数为:匀胶转速为3000r/min;镀膜时预处理温度为80℃、预处理时间为10 min；室温至200℃阶段的烧结升温速率为0.5 ℃/min,高温阶段为3℃/min;经500℃烧结热处理后得到锐钛矿结构,薄膜晶粒尺寸均在30 ～80nm的范围之内.
採用溶膠一凝膠法和鏇塗工藝,以鈦痠丁酯、冰乙痠、乙酰丙酮、無水乙醇、去離子水為原料,製取TiO2薄膜,研究熱處理工藝對TiO2成膜性的影響,結果錶明,穫得均勻連續的TiO2薄膜的工藝參數為:勻膠轉速為3000r/min;鍍膜時預處理溫度為80℃、預處理時間為10 min；室溫至200℃階段的燒結升溫速率為0.5 ℃/min,高溫階段為3℃/min;經500℃燒結熱處理後得到銳鈦礦結構,薄膜晶粒呎吋均在30 ～80nm的範圍之內.
채용용효일응효법화선도공예,이태산정지、빙을산、을선병동、무수을순、거리자수위원료,제취TiO2박막,연구열처리공예대TiO2성막성적영향,결과표명,획득균균련속적TiO2박막적공예삼수위:균효전속위3000r/min;도막시예처리온도위80℃、예처리시간위10 min；실온지200℃계단적소결승온속솔위0.5 ℃/min,고온계단위3℃/min;경500℃소결열처리후득도예태광결구,박막정립척촌균재30 ～80nm적범위지내.
