中国工程科学
中國工程科學
중국공정과학
ENGINEERING SCIENCE
2000年
2期
36-40
,共5页
电容%加速度传感器%变面积
電容%加速度傳感器%變麵積
전용%가속도전감기%변면적
文章首次报道了一种基于面积可变电容结构的微机械加速度传感器.质量块呈栅状结构,由悬臂梁支撑.两组交叉放置的定电极位于质量块的正下方.在惯性力的作用下,质量块呈平行于衬底水平移动,引起由质量块的栅与定电极的叉指构成的差分电容变化.通过测量差分电容的变化,可以得到加速度信号的大小.理论分析表明加速度响应信号随面积呈线性变化,而与质量块及定电极的间距无关.加速度传感器的制作采用了基于金属电镀的准LIGA技术,设计量程为20 m/s2.测量结果表明,加速度传感器量程为20 m/s2,灵敏度为58.1 mV/(m·s-2),非线性为4%FS.讨论了器件线性度不够理想的原因.
文章首次報道瞭一種基于麵積可變電容結構的微機械加速度傳感器.質量塊呈柵狀結構,由懸臂樑支撐.兩組交扠放置的定電極位于質量塊的正下方.在慣性力的作用下,質量塊呈平行于襯底水平移動,引起由質量塊的柵與定電極的扠指構成的差分電容變化.通過測量差分電容的變化,可以得到加速度信號的大小.理論分析錶明加速度響應信號隨麵積呈線性變化,而與質量塊及定電極的間距無關.加速度傳感器的製作採用瞭基于金屬電鍍的準LIGA技術,設計量程為20 m/s2.測量結果錶明,加速度傳感器量程為20 m/s2,靈敏度為58.1 mV/(m·s-2),非線性為4%FS.討論瞭器件線性度不夠理想的原因.
문장수차보도료일충기우면적가변전용결구적미궤계가속도전감기.질량괴정책상결구,유현비량지탱.량조교차방치적정전겁위우질량괴적정하방.재관성력적작용하,질량괴정평행우츤저수평이동,인기유질량괴적책여정전겁적차지구성적차분전용변화.통과측량차분전용적변화,가이득도가속도신호적대소.이론분석표명가속도향응신호수면적정선성변화,이여질량괴급정전겁적간거무관.가속도전감기적제작채용료기우금속전도적준LIGA기술,설계량정위20 m/s2.측량결과표명,가속도전감기량정위20 m/s2,령민도위58.1 mV/(m·s-2),비선성위4%FS.토론료기건선성도불구이상적원인.
