新型红外探测器可动薄膜微腔的腐蚀工艺研究
신형홍외탐측기가동박막미강적부식공예연구
Etching study of micro-cavity with flexible film of novel infrared detector
  • 万方数据
    红外与激光工程 홍외여격광공정
    INFRARED AND LASER ENGINEERING
    2003年 6期 651-654 ,共4页

    李兰%董典红%刘铮%邓军%徐晨%邹德恕%沈光地

    리란%동전홍%류쟁%산군%서신%추덕서%침광지

    微机械%红外探测器%湿法腐蚀%EPW腐蚀液 微機械%紅外探測器%濕法腐蝕%EPW腐蝕液
    미궤계%홍외탐측기%습법부식%EPW부식액
    基于气体直接吸收机理、微机械技术实现的气动红外探测器是对中远波段实现室温探测的新型红外探测器.该探测器的关键结构--微气腔和可动薄膜的腐蚀工艺研究对整个器件的制作有重要意义.根据探测器结构提出了对腐蚀工艺的要求,采用EPW湿法腐蚀的工艺,通过实验研究器件结构制作的最佳腐蚀条件和腐蚀速度,保证了工艺的可控性和器件结构的质量.
    기우기체직접흡수궤리、미궤계기술실현적기동홍외탐측기시대중원파단실현실온탐측적신형홍외탐측기.해탐측기적관건결구--미기강화가동박막적부식공예연구대정개기건적제작유중요의의.근거탐측기결구제출료대부식공예적요구,채용EPW습법부식적공예,통과실험연구기건결구제작적최가부식조건화부식속도,보증료공예적가공성화기건결구적질량.
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