光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2003年
8期
973-976
,共4页
杨玉孝%熊开利%孙艳%谭玉山
楊玉孝%熊開利%孫豔%譚玉山
양옥효%웅개리%손염%담옥산
反射式干涉光谱仪%薄膜%干涉%无损检测
反射式榦涉光譜儀%薄膜%榦涉%無損檢測
반사식간섭광보의%박막%간섭%무손검측
运用薄膜光学干涉原理、光纤技术和干涉光谱分析技术,用光纤反射式干涉光谱仪(Reflectromic Interference Spectroscopy)直接测试宽带入射光在单晶硅表面超薄SiO2膜层前后界面反射形成的干涉光谱曲线,并用专业软件对被测光谱信号数据处理后,可直接用公式准确计算出SiO2氧化膜的厚度和光学折射率.通过对单晶硅片表面超薄SiO2氧化膜的实测,并与成熟的椭圆偏振仪测试结果相比,测试误差≤2nm.但该方法测试简单、快速,精度高,不需要制定仪器曲线和数表,可对薄膜任意位置的厚度在线测试.经过对不同厚度聚苯乙烯薄膜的厚度测试表明,该方法适合0.5～20μm薄膜厚度的精确在线测量,测量误差小于7nm.
運用薄膜光學榦涉原理、光纖技術和榦涉光譜分析技術,用光纖反射式榦涉光譜儀(Reflectromic Interference Spectroscopy)直接測試寬帶入射光在單晶硅錶麵超薄SiO2膜層前後界麵反射形成的榦涉光譜麯線,併用專業軟件對被測光譜信號數據處理後,可直接用公式準確計算齣SiO2氧化膜的厚度和光學摺射率.通過對單晶硅片錶麵超薄SiO2氧化膜的實測,併與成熟的橢圓偏振儀測試結果相比,測試誤差≤2nm.但該方法測試簡單、快速,精度高,不需要製定儀器麯線和數錶,可對薄膜任意位置的厚度在線測試.經過對不同厚度聚苯乙烯薄膜的厚度測試錶明,該方法適閤0.5～20μm薄膜厚度的精確在線測量,測量誤差小于7nm.
운용박막광학간섭원리、광섬기술화간섭광보분석기술,용광섬반사식간섭광보의(Reflectromic Interference Spectroscopy)직접측시관대입사광재단정규표면초박SiO2막층전후계면반사형성적간섭광보곡선,병용전업연건대피측광보신호수거처리후,가직접용공식준학계산출SiO2양화막적후도화광학절사솔.통과대단정규편표면초박SiO2양화막적실측,병여성숙적타원편진의측시결과상비,측시오차≤2nm.단해방법측시간단、쾌속,정도고,불수요제정의기곡선화수표,가대박막임의위치적후도재선측시.경과대불동후도취분을희박막적후도측시표명,해방법괄합0.5～20μm박막후도적정학재선측량,측량오차소우7nm.
