ZnO基紫外探测器的制作与研究
ZnO기자외탐측기적제작여연구
Fabrication and Study of ZnO UV Photodetector
  • 万方数据
    发光学报 발광학보
    CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
    2004年 2期 156-158 ,共3页

    杨晓天%刘博阳%马艳%赵佰军%张源涛%杨天鹏%杨洪军%李万程%刘大力%杜国同

    양효천%류박양%마염%조백군%장원도%양천붕%양홍군%리만정%류대력%두국동

    等离子体辅助金属有机化学气相沉积%ZnO薄膜%紫外探测器 等離子體輔助金屬有機化學氣相沉積%ZnO薄膜%紫外探測器
    등리자체보조금속유궤화학기상침적%ZnO박막%자외탐측기
    利用新型的等离子体辅助金属有机化学气相沉积(P-MOCVD)系统在蓝宝石、硅等衬底上生长出具有单一c轴取向、高阻的ZnO薄膜,利用添加的等离子体发生装置,进行氮掺杂获得高阻ZnO薄膜.利用ZnO的宽禁带与高光电导特性,结合MSM(金属-半导体-金属)结构器件响应度高、速度快、随偏压变化小、工艺简单、易于单片集成等优点,制作了ZnO基紫外探测器,器件规格为80 μm×100μm,电极为叉指式电极.测试中采用500W的氙灯做测试光源,探测器的I-V特性曲线显示:正向偏压下探测器的暗电流及光照电流与外加偏压呈线性增长.不同波长下的响应曲线显示:探测器对紫外波段有响应,响应峰值在375 nm附近.
    이용신형적등리자체보조금속유궤화학기상침적(P-MOCVD)계통재람보석、규등츤저상생장출구유단일c축취향、고조적ZnO박막,이용첨가적등리자체발생장치,진행담참잡획득고조ZnO박막.이용ZnO적관금대여고광전도특성,결합MSM(금속-반도체-금속)결구기건향응도고、속도쾌、수편압변화소、공예간단、역우단편집성등우점,제작료ZnO기자외탐측기,기건규격위80 μm×100μm,전겁위차지식전겁.측시중채용500W적선등주측시광원,탐측기적I-V특성곡선현시:정향편압하탐측기적암전류급광조전류여외가편압정선성증장.불동파장하적향응곡선현시:탐측기대자외파단유향응,향응봉치재375 nm부근.
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