华东师范大学学报（自然科学版）
華東師範大學學報（自然科學版）
화동사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF EAST CHINA NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2004年
3期
71-75
,共5页
杨震%李国栋%彭德艳%忻佩胜%赖宗声%朱自强
楊震%李國棟%彭德豔%忻珮勝%賴宗聲%硃自彊
양진%리국동%팽덕염%흔패성%뢰종성%주자강
微光机电系统%抗反射结构%可调式光衰减器%静电力驱动
微光機電繫統%抗反射結構%可調式光衰減器%靜電力驅動
미광궤전계통%항반사결구%가조식광쇠감기%정전력구동
讨论基于抗反射结构(Mechanical Anti-Reflection Structure,MARS)的硅基微机械式光衰减技术的基本原理和相关的制造方法,研制了一种工作在1 320～1 550nm波长范围内的静电力驱动的可调式微机械光衰减器.制备该衰减器使用常规的硅平面工艺,制作简单,成本较低.器件体积小,响应速度快,可适应日益增长的波分复用(wavelength division multiplex,WDM)全光网的发展.
討論基于抗反射結構(Mechanical Anti-Reflection Structure,MARS)的硅基微機械式光衰減技術的基本原理和相關的製造方法,研製瞭一種工作在1 320～1 550nm波長範圍內的靜電力驅動的可調式微機械光衰減器.製備該衰減器使用常規的硅平麵工藝,製作簡單,成本較低.器件體積小,響應速度快,可適應日益增長的波分複用(wavelength division multiplex,WDM)全光網的髮展.
토론기우항반사결구(Mechanical Anti-Reflection Structure,MARS)적규기미궤계식광쇠감기술적기본원리화상관적제조방법,연제료일충공작재1 320～1 550nm파장범위내적정전력구동적가조식미궤계광쇠감기.제비해쇠감기사용상규적규평면공예,제작간단,성본교저.기건체적소,향응속도쾌,가괄응일익증장적파분복용(wavelength division multiplex,WDM)전광망적발전.
