功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2005年
4期
419-422
,共4页
陈吉安%茅昕辉%赵晓昱%丁文%曹莹%周勇
陳吉安%茅昕輝%趙曉昱%丁文%曹瑩%週勇
진길안%모흔휘%조효욱%정문%조형%주용
应力阻抗%FeSiB/Cu/FeSiB三层膜%磁控溅射%曲折状
應力阻抗%FeSiB/Cu/FeSiB三層膜%磁控濺射%麯摺狀
응력조항%FeSiB/Cu/FeSiB삼층막%자공천사%곡절상
采用磁控溅射法在玻璃基底上制备了曲折状FeSiB/Cu/FeSiB三层膜结构,在1～40MHz范围内研究了FeSiB膜和Cu膜厚度对三层膜结构应力阻抗效应的影响.结果表明:高频下三层膜的应力阻抗效应随着其形变的增加近似线性增加,在自由端弯曲变形1mm、外加电场频率为25MHz时,应力阻抗效应达到-18.3%,在力敏传感器方面具有广阔的应用前景.
採用磁控濺射法在玻璃基底上製備瞭麯摺狀FeSiB/Cu/FeSiB三層膜結構,在1～40MHz範圍內研究瞭FeSiB膜和Cu膜厚度對三層膜結構應力阻抗效應的影響.結果錶明:高頻下三層膜的應力阻抗效應隨著其形變的增加近似線性增加,在自由耑彎麯變形1mm、外加電場頻率為25MHz時,應力阻抗效應達到-18.3%,在力敏傳感器方麵具有廣闊的應用前景.
채용자공천사법재파리기저상제비료곡절상FeSiB/Cu/FeSiB삼층막결구,재1～40MHz범위내연구료FeSiB막화Cu막후도대삼층막결구응력조항효응적영향.결과표명:고빈하삼층막적응력조항효응수착기형변적증가근사선성증가,재자유단만곡변형1mm、외가전장빈솔위25MHz시,응력조항효응체도-18.3%,재력민전감기방면구유엄활적응용전경.
