半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2005年
5期
1020-1023
,共4页
AWG%光学梳状滤波器%平面光波导%Si基SiO2
AWG%光學梳狀濾波器%平麵光波導%Si基SiO2
AWG%광학소상려파기%평면광파도%Si기SiO2
以Si基SiO2平面光波导为基础,设计并制备了50/100GHz AWG型光学梳状滤波器.制备得到的AWG型光学梳状滤波器可以覆盖1520～1585nm的波长范围,共有160个信道.功率输出不均匀度＜0.5dB,插入损耗＜8dB,相邻通道的串扰＞13dB,在距离中心频率最远的信道,输出频率偏离ITU标准15GHz.分析了影响器件串扰和信道频率偏移的原因,并提出了相应的解决办法.
以Si基SiO2平麵光波導為基礎,設計併製備瞭50/100GHz AWG型光學梳狀濾波器.製備得到的AWG型光學梳狀濾波器可以覆蓋1520～1585nm的波長範圍,共有160箇信道.功率輸齣不均勻度＜0.5dB,插入損耗＜8dB,相鄰通道的串擾＞13dB,在距離中心頻率最遠的信道,輸齣頻率偏離ITU標準15GHz.分析瞭影響器件串擾和信道頻率偏移的原因,併提齣瞭相應的解決辦法.
이Si기SiO2평면광파도위기출,설계병제비료50/100GHz AWG형광학소상려파기.제비득도적AWG형광학소상려파기가이복개1520～1585nm적파장범위,공유160개신도.공솔수출불균균도＜0.5dB,삽입손모＜8dB,상린통도적천우＞13dB,재거리중심빈솔최원적신도,수출빈솔편리ITU표준15GHz.분석료영향기건천우화신도빈솔편이적원인,병제출료상응적해결판법.
