华中科技大学学报（自然科学版）
華中科技大學學報（自然科學版）
화중과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURE SCIENCE)
2007年
10期
77-79
,共3页
纳米探测%光学相干层析%微缺陷%光外差
納米探測%光學相榦層析%微缺陷%光外差
납미탐측%광학상간층석%미결함%광외차
利用光纤构建了一套光学相干层析系统(OCT),并在光纤末端安装自聚焦透镜,采用宽光源对抛光物体亚表面微缺陷的存在进行了无损在体层析检测.利用光外差技术实现对样品的高分辨率检测.提出利用光学相干层析系统检测抛光物体亚表面微缺陷的方法,同时本实验系统的分辨率小于600 nm.系统中的光源相干长度为3.5 μm,光程为往返式,因此本系统的相干长度为1.7 μm.实验证明本系统在探测抛光物体亚表面的微缺陷中,可以清晰地识别3～4个微缺陷点区域.
利用光纖構建瞭一套光學相榦層析繫統(OCT),併在光纖末耑安裝自聚焦透鏡,採用寬光源對拋光物體亞錶麵微缺陷的存在進行瞭無損在體層析檢測.利用光外差技術實現對樣品的高分辨率檢測.提齣利用光學相榦層析繫統檢測拋光物體亞錶麵微缺陷的方法,同時本實驗繫統的分辨率小于600 nm.繫統中的光源相榦長度為3.5 μm,光程為往返式,因此本繫統的相榦長度為1.7 μm.實驗證明本繫統在探測拋光物體亞錶麵的微缺陷中,可以清晰地識彆3～4箇微缺陷點區域.
이용광섬구건료일투광학상간층석계통(OCT),병재광섬말단안장자취초투경,채용관광원대포광물체아표면미결함적존재진행료무손재체층석검측.이용광외차기술실현대양품적고분변솔검측.제출이용광학상간층석계통검측포광물체아표면미결함적방법,동시본실험계통적분변솔소우600 nm.계통중적광원상간장도위3.5 μm,광정위왕반식,인차본계통적상간장도위1.7 μm.실험증명본계통재탐측포광물체아표면적미결함중,가이청석지식별3～4개미결함점구역.
