微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2012年
6期
388-395
,共8页
陈燕坤%韩伟华%张严波%徐锐%王晓东%李小明%杨富华
陳燕坤%韓偉華%張嚴波%徐銳%王曉東%李小明%楊富華
진연곤%한위화%장엄파%서예%왕효동%리소명%양부화
硅基太阳电池%金属纳米颗粒%纳米线%纳米锥%纳米孔
硅基太暘電池%金屬納米顆粒%納米線%納米錐%納米孔
규기태양전지%금속납미과립%납미선%납미추%납미공
综述了用于硅基太阳电池高效陷光的四种表面纳米织构,即金属纳米颗粒、纳米线、纳米锥和纳米孔.相对于其他三种表面纳米织构,纳米孔具有更好的结构特性和陷光能力.详细介绍了各种表面纳米织构的制备方法,如金属薄膜退火、金属诱导化学腐蚀、干法刻蚀、深紫外光刻和纳米球光刻等.通过表面纳米织构提高效率是太阳电池领域的重点研究内容.表面纳米织构以其优异的光电特性,将在未来高效光伏器件中得到重要应用.
綜述瞭用于硅基太暘電池高效陷光的四種錶麵納米織構,即金屬納米顆粒、納米線、納米錐和納米孔.相對于其他三種錶麵納米織構,納米孔具有更好的結構特性和陷光能力.詳細介紹瞭各種錶麵納米織構的製備方法,如金屬薄膜退火、金屬誘導化學腐蝕、榦法刻蝕、深紫外光刻和納米毬光刻等.通過錶麵納米織構提高效率是太暘電池領域的重點研究內容.錶麵納米織構以其優異的光電特性,將在未來高效光伏器件中得到重要應用.
종술료용우규기태양전지고효함광적사충표면납미직구,즉금속납미과립、납미선、납미추화납미공.상대우기타삼충표면납미직구,납미공구유경호적결구특성화함광능력.상세개소료각충표면납미직구적제비방법,여금속박막퇴화、금속유도화학부식、간법각식、심자외광각화납미구광각등.통과표면납미직구제고효솔시태양전지영역적중점연구내용.표면납미직구이기우이적광전특성,장재미래고효광복기건중득도중요응용.
