现代仪器
現代儀器
현대의기
MODERN INSTRUMENTS
2011年
3期
52-53,57
,共3页
硅氮%相对灵敏度因子%二次离子质谱%扫描面积
硅氮%相對靈敏度因子%二次離子質譜%掃描麵積
규담%상대령민도인자%이차리자질보%소묘면적
本文采用相对灵敏度因子法,对硅中氮含量的SIMS定量分析方法进行研究.通过运用改变一次束扫描面积的方法,氮的检测限可达到2.0×1014atoms/cm3,比常规测试能力提高一个量级.
本文採用相對靈敏度因子法,對硅中氮含量的SIMS定量分析方法進行研究.通過運用改變一次束掃描麵積的方法,氮的檢測限可達到2.0×1014atoms/cm3,比常規測試能力提高一箇量級.
본문채용상대령민도인자법,대규중담함량적SIMS정량분석방법진행연구.통과운용개변일차속소묘면적적방법,담적검측한가체도2.0×1014atoms/cm3,비상규측시능력제고일개량급.
