润滑与密封
潤滑與密封
윤활여밀봉
LUBRICATION ENGINEERING
2007年
12期
16-19,22
,共5页
周晖%郑军%温庆平%桑瑞鹏%万志华
週暉%鄭軍%溫慶平%桑瑞鵬%萬誌華
주휘%정군%온경평%상서붕%만지화
非平衡磁控溅射%MoS2-Ti复合薄膜%沉积温度%结构和性能
非平衡磁控濺射%MoS2-Ti複閤薄膜%沉積溫度%結構和性能
비평형자공천사%MoS2-Ti복합박막%침적온도%결구화성능
采用非平衡磁控溅射沉积技术制备MoS2-Ti复合薄膜,研究了沉积温度对薄膜的结构和性能的影响.利用SEM、XRF和XRD分析薄膜的形貌、成分和晶相结构,用CSEM薄膜综合性能测试仪测试薄膜的硬度和与基底间的附着力,用球-盘摩擦试验机和真空环模系统评价薄膜的真空摩擦磨损性能.结果表明:沉积温度升高薄膜中S和Mo原子比从1.72升高至1.76,Ti质量分数从8.2%降低至6.7%,薄膜从明显的(002)基面优势取向向多晶态转变,晶粒尺寸变大,棱面膜含量增多;薄膜的硬度、与基底间的附着力都随沉积温度的升高而降低,沉积温度为200 ℃时薄膜性能降低明显,硬度从4 GPa降至2 GPa,薄膜与基底间附着力从80 mN以上降至35 mN;薄膜在真空环境中的减摩作用不受沉积温度影响,摩擦因数平均值为0.02,波动范围为0.01～0.04,薄膜耐磨寿命随沉积温度升高而降低,50 ℃和100 ℃薄膜耐磨寿命相差不多,200 ℃薄膜样品耐磨寿命很差,是50 ℃和100 ℃薄膜样品的1/8～1/7.
採用非平衡磁控濺射沉積技術製備MoS2-Ti複閤薄膜,研究瞭沉積溫度對薄膜的結構和性能的影響.利用SEM、XRF和XRD分析薄膜的形貌、成分和晶相結構,用CSEM薄膜綜閤性能測試儀測試薄膜的硬度和與基底間的附著力,用毬-盤摩抆試驗機和真空環模繫統評價薄膜的真空摩抆磨損性能.結果錶明:沉積溫度升高薄膜中S和Mo原子比從1.72升高至1.76,Ti質量分數從8.2%降低至6.7%,薄膜從明顯的(002)基麵優勢取嚮嚮多晶態轉變,晶粒呎吋變大,稜麵膜含量增多;薄膜的硬度、與基底間的附著力都隨沉積溫度的升高而降低,沉積溫度為200 ℃時薄膜性能降低明顯,硬度從4 GPa降至2 GPa,薄膜與基底間附著力從80 mN以上降至35 mN;薄膜在真空環境中的減摩作用不受沉積溫度影響,摩抆因數平均值為0.02,波動範圍為0.01～0.04,薄膜耐磨壽命隨沉積溫度升高而降低,50 ℃和100 ℃薄膜耐磨壽命相差不多,200 ℃薄膜樣品耐磨壽命很差,是50 ℃和100 ℃薄膜樣品的1/8～1/7.
채용비평형자공천사침적기술제비MoS2-Ti복합박막,연구료침적온도대박막적결구화성능적영향.이용SEM、XRF화XRD분석박막적형모、성분화정상결구,용CSEM박막종합성능측시의측시박막적경도화여기저간적부착력,용구-반마찰시험궤화진공배모계통평개박막적진공마찰마손성능.결과표명:침적온도승고박막중S화Mo원자비종1.72승고지1.76,Ti질량분수종8.2%강저지6.7%,박막종명현적(002)기면우세취향향다정태전변,정립척촌변대,릉면막함량증다;박막적경도、여기저간적부착력도수침적온도적승고이강저,침적온도위200 ℃시박막성능강저명현,경도종4 GPa강지2 GPa,박막여기저간부착력종80 mN이상강지35 mN;박막재진공배경중적감마작용불수침적온도영향,마찰인수평균치위0.02,파동범위위0.01～0.04,박막내마수명수침적온도승고이강저,50 ℃화100 ℃박막내마수명상차불다,200 ℃박막양품내마수명흔차,시50 ℃화100 ℃박막양품적1/8～1/7.
