科技风
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과기풍
TECHNOLOGY WIND
2011年
10期
51
,共1页
二元光学器件%幅度参数%表征法
二元光學器件%幅度參數%錶徵法
이원광학기건%폭도삼수%표정법
二元光学器件是一种表面微细结构组成的衍射光学元件,其制作工程中存在的加工误差主要有系统刻蚀误差、对准误差、随机台阶刻蚀深度误差、随机台阶刻蚀宽度误差等.其表面结构的形态及其偏差对其使用性能将产生严重的影响.探索出有效的二元光学器件表面表征方法是保证其制作工艺及系统有良好性能的前提和主要手段.本文介绍了一种幅度参数表征法,并给出了参数表征法中各参数的数学模型.
二元光學器件是一種錶麵微細結構組成的衍射光學元件,其製作工程中存在的加工誤差主要有繫統刻蝕誤差、對準誤差、隨機檯階刻蝕深度誤差、隨機檯階刻蝕寬度誤差等.其錶麵結構的形態及其偏差對其使用性能將產生嚴重的影響.探索齣有效的二元光學器件錶麵錶徵方法是保證其製作工藝及繫統有良好性能的前提和主要手段.本文介紹瞭一種幅度參數錶徵法,併給齣瞭參數錶徵法中各參數的數學模型.
이원광학기건시일충표면미세결구조성적연사광학원건,기제작공정중존재적가공오차주요유계통각식오차、대준오차、수궤태계각식심도오차、수궤태계각식관도오차등.기표면결구적형태급기편차대기사용성능장산생엄중적영향.탐색출유효적이원광학기건표면표정방법시보증기제작공예급계통유량호성능적전제화주요수단.본문개소료일충폭도삼수표정법,병급출료삼수표정법중각삼수적수학모형.
