材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2011年
8期
5-7
,共3页
倪烨%戴强%张怀武%钟智勇%于奇
倪燁%戴彊%張懷武%鐘智勇%于奇
예엽%대강%장부무%종지용%우기
湿法刻蚀%MEMS%深槽刻蚀%掩膜
濕法刻蝕%MEMS%深槽刻蝕%掩膜
습법각식%MEMS%심조각식%엄막
针对硅基MEMS湿法深槽刻蚀技术的难点,在硅材料各向异性腐蚀特性的基础上探索了湿法工艺.对腐蚀液含量、温度、添加剂含量对刻蚀速率及表面粗糙度的影响,掩膜技术等进行了实验研究,优化得到了最佳刻蚀条件.应用该技术成功地刻蚀出深度高达330μm的深槽,为MEMS元器件的加工提供了一种参考方法.
針對硅基MEMS濕法深槽刻蝕技術的難點,在硅材料各嚮異性腐蝕特性的基礎上探索瞭濕法工藝.對腐蝕液含量、溫度、添加劑含量對刻蝕速率及錶麵粗糙度的影響,掩膜技術等進行瞭實驗研究,優化得到瞭最佳刻蝕條件.應用該技術成功地刻蝕齣深度高達330μm的深槽,為MEMS元器件的加工提供瞭一種參攷方法.
침대규기MEMS습법심조각식기술적난점,재규재료각향이성부식특성적기출상탐색료습법공예.대부식액함량、온도、첨가제함량대각식속솔급표면조조도적영향,엄막기술등진행료실험연구,우화득도료최가각식조건.응용해기술성공지각식출심도고체330μm적심조,위MEMS원기건적가공제공료일충삼고방법.
