机械与电子
機械與電子
궤계여전자
MACHINERY & ELECTRONICS
2007年
12期
60-63
,共4页
陶帅%白鸿柏%候军芳%董志鹏
陶帥%白鴻柏%候軍芳%董誌鵬
도수%백홍백%후군방%동지붕
压电微动平台%灰色PID%控制
壓電微動平檯%灰色PID%控製
압전미동평태%회색PID%공제
将不确定量的灰色PID控制引入压电微动平台的控制中,仿真验证了灰色控制在微定位平台的适用性.通过与经验PID控制得出对平台的阶跃响应、控制信号、跟踪误差和变化率的对比,结果显示:在引入灰色控制后,微动平台的控制误差降低了0.15μm.
將不確定量的灰色PID控製引入壓電微動平檯的控製中,倣真驗證瞭灰色控製在微定位平檯的適用性.通過與經驗PID控製得齣對平檯的階躍響應、控製信號、跟蹤誤差和變化率的對比,結果顯示:在引入灰色控製後,微動平檯的控製誤差降低瞭0.15μm.
장불학정량적회색PID공제인입압전미동평태적공제중,방진험증료회색공제재미정위평태적괄용성.통과여경험PID공제득출대평태적계약향응、공제신호、근종오차화변화솔적대비,결과현시:재인입회색공제후,미동평태적공제오차강저료0.15μm.
