材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2010年
18期
8-11
,共4页
程慧%晁明举%梁二军%姜雅丽%刘志锋
程慧%晁明舉%樑二軍%薑雅麗%劉誌鋒
정혜%조명거%량이군%강아려%류지봉
磁控溅射%Y2Mo3O12薄膜%拉曼光谱%光吸收性能
磁控濺射%Y2Mo3O12薄膜%拉曼光譜%光吸收性能
자공천사%Y2Mo3O12박막%랍만광보%광흡수성능
采用磁控溅射法在Si(100)和石英衬底上沉积Y2Mo3O12,并经退火处理获得正交相Y2Mo3O12薄膜.采用扫描电镜、X射线衍射仪、变温拉曼光谱仪和紫外-可见光谱计研究了薄膜的表面形貌、结晶特性、吸湿性和光吸收性能.结果表明,磁控溅射沉积Y2Mo3O12薄膜为非晶态,退火后结晶为正交相结构.正交相Y2Mo3O12薄膜表面平整、晶粒细小,具有可逆的脱水吸水性能,其光学带隙宽度为4.58eV,对近紫外光(波长286～270nm)具有很好的吸收性能,可应用于日盲探测器中.
採用磁控濺射法在Si(100)和石英襯底上沉積Y2Mo3O12,併經退火處理穫得正交相Y2Mo3O12薄膜.採用掃描電鏡、X射線衍射儀、變溫拉曼光譜儀和紫外-可見光譜計研究瞭薄膜的錶麵形貌、結晶特性、吸濕性和光吸收性能.結果錶明,磁控濺射沉積Y2Mo3O12薄膜為非晶態,退火後結晶為正交相結構.正交相Y2Mo3O12薄膜錶麵平整、晶粒細小,具有可逆的脫水吸水性能,其光學帶隙寬度為4.58eV,對近紫外光(波長286～270nm)具有很好的吸收性能,可應用于日盲探測器中.
채용자공천사법재Si(100)화석영츤저상침적Y2Mo3O12,병경퇴화처리획득정교상Y2Mo3O12박막.채용소묘전경、X사선연사의、변온랍만광보의화자외-가견광보계연구료박막적표면형모、결정특성、흡습성화광흡수성능.결과표명,자공천사침적Y2Mo3O12박막위비정태,퇴화후결정위정교상결구.정교상Y2Mo3O12박막표면평정、정립세소,구유가역적탈수흡수성능,기광학대극관도위4.58eV,대근자외광(파장286～270nm)구유흔호적흡수성능,가응용우일맹탐측기중.
