材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2009年
16期
95-98
,共4页
黄竹%王华%许积文%杨玲%任明放
黃竹%王華%許積文%楊玲%任明放
황죽%왕화%허적문%양령%임명방
MgxZn1-xO:Al靶材%预烧%Mg含量%烧结工艺%微观结构
MgxZn1-xO:Al靶材%預燒%Mg含量%燒結工藝%微觀結構
MgxZn1-xO:Al파재%예소%Mg함량%소결공예%미관결구
以纳米级的ZnO、MgO和Al2O3粉体为原料,经过湿式球磨得到了混合粉体,采用常压固相烧结的方法制备了高致密度MgXZn1-XO:Al陶瓷靶材,研究了预烧粉体、Mg掺杂量和烧结温度对靶材微观结构和性能的影响.研究表明,预烧粉体可以减少第二相的生成;随着Mg掺杂量的增加,MgO立方相逐渐增多,在x=0.3时产生了相分离;在1100～1300℃内,随着烧结温度的升高,靶材的晶粒大小和密度逐渐增大,增大趋势在1300℃后变缓,1300℃烧结4h可以制得结构均匀、高致密度的MgxZn1-xO:Al靶材.
以納米級的ZnO、MgO和Al2O3粉體為原料,經過濕式毬磨得到瞭混閤粉體,採用常壓固相燒結的方法製備瞭高緻密度MgXZn1-XO:Al陶瓷靶材,研究瞭預燒粉體、Mg摻雜量和燒結溫度對靶材微觀結構和性能的影響.研究錶明,預燒粉體可以減少第二相的生成;隨著Mg摻雜量的增加,MgO立方相逐漸增多,在x=0.3時產生瞭相分離;在1100～1300℃內,隨著燒結溫度的升高,靶材的晶粒大小和密度逐漸增大,增大趨勢在1300℃後變緩,1300℃燒結4h可以製得結構均勻、高緻密度的MgxZn1-xO:Al靶材.
이납미급적ZnO、MgO화Al2O3분체위원료,경과습식구마득도료혼합분체,채용상압고상소결적방법제비료고치밀도MgXZn1-XO:Al도자파재,연구료예소분체、Mg참잡량화소결온도대파재미관결구화성능적영향.연구표명,예소분체가이감소제이상적생성;수착Mg참잡량적증가,MgO립방상축점증다,재x=0.3시산생료상분리;재1100～1300℃내,수착소결온도적승고,파재적정립대소화밀도축점증대,증대추세재1300℃후변완,1300℃소결4h가이제득결구균균、고치밀도적MgxZn1-xO:Al파재.
