四川有色金属
四川有色金屬
사천유색금속
SICHUAN NONFERROUS METALS
2009年
2期
1-4
,共4页
三氯氢硅%粒状多晶硅%还原%流化床%气液沉积
三氯氫硅%粒狀多晶硅%還原%流化床%氣液沉積
삼록경규%립상다정규%환원%류화상%기액침적
在日益激烈的国际竞争环境下,传统改良西门子法多晶厂商发展成本更低的替代技术势在必行.本文简单介绍了国外公司的三氨氢硅流化床技术和气液沉积法技术;其中三氯氢硅流化床技术能充分利用现有改良西门子法的全部产品流程,对改良西门子法多晶厂商更具参考意义.
在日益激烈的國際競爭環境下,傳統改良西門子法多晶廠商髮展成本更低的替代技術勢在必行.本文簡單介紹瞭國外公司的三氨氫硅流化床技術和氣液沉積法技術;其中三氯氫硅流化床技術能充分利用現有改良西門子法的全部產品流程,對改良西門子法多晶廠商更具參攷意義.
재일익격렬적국제경쟁배경하,전통개량서문자법다정엄상발전성본경저적체대기술세재필행.본문간단개소료국외공사적삼안경규류화상기술화기액침적법기술;기중삼록경규류화상기술능충분이용현유개량서문자법적전부산품류정,대개량서문자법다정엄상경구삼고의의.
