计量技术
計量技術
계량기술
MEASUREMENT TECHNIQUE
2009年
6期
70-72
,共3页
气敏传感器%气体灵敏度%加热老化工艺%须晶%带状晶体%菱形晶体
氣敏傳感器%氣體靈敏度%加熱老化工藝%鬚晶%帶狀晶體%蔆形晶體
기민전감기%기체령민도%가열노화공예%수정%대상정체%릉형정체
介绍一种改良的SnO2单晶体式气敏传感器制作方法,巧用加热老化工艺使传感器的气体灵敏度获得大幅提高,从而解决了一直存在的难题.此工艺不仅适用于氢、甲烷的检测,而且还同样适用于乙醇、丙烷、一氧化碳、氨气、氧气、水蒸汽等的检测.
介紹一種改良的SnO2單晶體式氣敏傳感器製作方法,巧用加熱老化工藝使傳感器的氣體靈敏度穫得大幅提高,從而解決瞭一直存在的難題.此工藝不僅適用于氫、甲烷的檢測,而且還同樣適用于乙醇、丙烷、一氧化碳、氨氣、氧氣、水蒸汽等的檢測.
개소일충개량적SnO2단정체식기민전감기제작방법,교용가열노화공예사전감기적기체령민도획득대폭제고,종이해결료일직존재적난제.차공예불부괄용우경、갑완적검측,이차환동양괄용우을순、병완、일양화탄、안기、양기、수증기등적검측.
