传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
12期
2097-2100
,共4页
李源%邹子英%傅云霞%傅星%栗大超%胡小唐
李源%鄒子英%傅雲霞%傅星%慄大超%鬍小唐
리원%추자영%부운하%부성%률대초%호소당
微机电系统%微触觉测头%尺寸测量%纳米测量机
微機電繫統%微觸覺測頭%呎吋測量%納米測量機
미궤전계통%미촉각측두%척촌측량%납미측량궤
针对微小结构几何量测量的需求,通过集成MEMS微触觉测头和纳米测量机构建了高精度的测量系统.在验证测头性能的基础上,完成了一系列判断测头测量分辨力和精度的实验,在轴向、同向横向、异向横向三个方向测量的标准偏差分别为41.755 2 nm,6.05 μm,6.16μm,同时,在扫描实验中进程回程扫描差值的标准偏差为23.088 nm.
針對微小結構幾何量測量的需求,通過集成MEMS微觸覺測頭和納米測量機構建瞭高精度的測量繫統.在驗證測頭性能的基礎上,完成瞭一繫列判斷測頭測量分辨力和精度的實驗,在軸嚮、同嚮橫嚮、異嚮橫嚮三箇方嚮測量的標準偏差分彆為41.755 2 nm,6.05 μm,6.16μm,同時,在掃描實驗中進程迴程掃描差值的標準偏差為23.088 nm.
침대미소결구궤하량측량적수구,통과집성MEMS미촉각측두화납미측량궤구건료고정도적측량계통.재험증측두성능적기출상,완성료일계렬판단측두측량분변력화정도적실험,재축향、동향횡향、이향횡향삼개방향측량적표준편차분별위41.755 2 nm,6.05 μm,6.16μm,동시,재소묘실험중진정회정소묘차치적표준편차위23.088 nm.
