真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
z1期
1-4
,共4页
望咏林%颜悦%温培刚%伍建华%张官理
望詠林%顏悅%溫培剛%伍建華%張官理
망영림%안열%온배강%오건화%장관리
铟锡氧化物薄膜%室温制备%离子束辅助磁控溅射%结构与形貌%透明塑料衬底
銦錫氧化物薄膜%室溫製備%離子束輔助磁控濺射%結構與形貌%透明塑料襯底
인석양화물박막%실온제비%리자속보조자공천사%결구여형모%투명소료츤저
基于双极脉冲磁控溅射复合离子束辅助沉积的新工艺,在透明塑料聚碳酸酯基片上,常温制备了透明导电的铟锡氧化物(ITO)薄膜.重点研究了不同辅助离子束功率密度对ITO薄膜晶体结构和表面形貌的影响.结果表明:当离子束功率密度从52 mW/cm2逐渐增加到436 mW/cm2时,薄膜逐渐从非晶态转变为微晶态、直至长大为多晶态,晶体呈现(222)择优取向;薄膜在非晶态时表面相对平坦,随着晶粒的长大,表面均方根粗糙度Rq增加,并在离子束功率密度为436 mW/cm2时最大.离子束功率密度进一步增大到680 mW/cm2时,薄膜的晶体衍射峰强度变弱、峰的半高宽变大,表明晶粒尺寸变小;薄膜表面均方根粗糙度下降.离子束功率密度为252 mW/cm2,ITO薄膜具有最佳综合光电性能.
基于雙極脈遲磁控濺射複閤離子束輔助沉積的新工藝,在透明塑料聚碳痠酯基片上,常溫製備瞭透明導電的銦錫氧化物(ITO)薄膜.重點研究瞭不同輔助離子束功率密度對ITO薄膜晶體結構和錶麵形貌的影響.結果錶明:噹離子束功率密度從52 mW/cm2逐漸增加到436 mW/cm2時,薄膜逐漸從非晶態轉變為微晶態、直至長大為多晶態,晶體呈現(222)擇優取嚮;薄膜在非晶態時錶麵相對平坦,隨著晶粒的長大,錶麵均方根粗糙度Rq增加,併在離子束功率密度為436 mW/cm2時最大.離子束功率密度進一步增大到680 mW/cm2時,薄膜的晶體衍射峰彊度變弱、峰的半高寬變大,錶明晶粒呎吋變小;薄膜錶麵均方根粗糙度下降.離子束功率密度為252 mW/cm2,ITO薄膜具有最佳綜閤光電性能.
기우쌍겁맥충자공천사복합리자속보조침적적신공예,재투명소료취탄산지기편상,상온제비료투명도전적인석양화물(ITO)박막.중점연구료불동보조리자속공솔밀도대ITO박막정체결구화표면형모적영향.결과표명:당리자속공솔밀도종52 mW/cm2축점증가도436 mW/cm2시,박막축점종비정태전변위미정태、직지장대위다정태,정체정현(222)택우취향;박막재비정태시표면상대평탄,수착정립적장대,표면균방근조조도Rq증가,병재리자속공솔밀도위436 mW/cm2시최대.리자속공솔밀도진일보증대도680 mW/cm2시,박막적정체연사봉강도변약、봉적반고관변대,표명정립척촌변소;박막표면균방근조조도하강.리자속공솔밀도위252 mW/cm2,ITO박막구유최가종합광전성능.
