微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2008年
4期
219-221
,共3页
吕树海%杨拥军%徐淑静%徐爱东%徐永青
呂樹海%楊擁軍%徐淑靜%徐愛東%徐永青
려수해%양옹군%서숙정%서애동%서영청
微电子机械系统%三轴%对流场%加速度%传感器
微電子機械繫統%三軸%對流場%加速度%傳感器
미전자궤계계통%삼축%대류장%가속도%전감기
介绍了一种基于热流原理的新型三轴MEMS热对流加速度传感器,它没有活动质量,无需多个器件组合就可以进行任意方向的加速度信号测量.分析了该器件的工作原理.设计了器件结构,进行了工艺开发,加工出了原理样机.测试表明:该器件实现了三个轴向的加速度信号的检测性能,验证了新原理的可行性;测量量程达到±2 g,分辨率达到1 mg,抗冲击能力达到10 000g,具备了良好的性能.
介紹瞭一種基于熱流原理的新型三軸MEMS熱對流加速度傳感器,它沒有活動質量,無需多箇器件組閤就可以進行任意方嚮的加速度信號測量.分析瞭該器件的工作原理.設計瞭器件結構,進行瞭工藝開髮,加工齣瞭原理樣機.測試錶明:該器件實現瞭三箇軸嚮的加速度信號的檢測性能,驗證瞭新原理的可行性;測量量程達到±2 g,分辨率達到1 mg,抗遲擊能力達到10 000g,具備瞭良好的性能.
개소료일충기우열류원리적신형삼축MEMS열대류가속도전감기,타몰유활동질량,무수다개기건조합취가이진행임의방향적가속도신호측량.분석료해기건적공작원리.설계료기건결구,진행료공예개발,가공출료원리양궤.측시표명:해기건실현료삼개축향적가속도신호적검측성능,험증료신원리적가행성;측량량정체도±2 g,분변솔체도1 mg,항충격능력체도10 000g,구비료량호적성능.
