光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2008年
3期
84-87
,共4页
王汉华%薛亦渝%郭培涛%张光勇%马中杰
王漢華%薛亦渝%郭培濤%張光勇%馬中傑
왕한화%설역투%곽배도%장광용%마중걸
薄膜%TiO2-Ta2O5%透射率%光学常数%光学带隙
薄膜%TiO2-Ta2O5%透射率%光學常數%光學帶隙
박막%TiO2-Ta2O5%투사솔%광학상수%광학대극
TiO2-Ta2O5薄膜是较新颖的光学薄膜,由均匀混合的两种化合物薄膜材料作为膜料研制而成,本文采用离子辅助蒸发的方法,以不同配比的Ta2O5和TiO2混合物为初始膜料在K9玻璃上制备了TiO2-Ta2O5混合薄膜,并对其光学性能进行研究.实验结果表明,TiO2-Ta2O5薄膜在可见光范围内有较高的透射率,消光系数在10-3～10-4数量级,折射率在1.80～2.07范围内变化(550nm),是理想的光学镀膜材料.随着Ta2O5含量从0增加到20%,光学带隙从3.266eV单调增加到3.417eV,并用Kayanuma提出的模型解释了透射谱中吸收边的漂移现象.
TiO2-Ta2O5薄膜是較新穎的光學薄膜,由均勻混閤的兩種化閤物薄膜材料作為膜料研製而成,本文採用離子輔助蒸髮的方法,以不同配比的Ta2O5和TiO2混閤物為初始膜料在K9玻璃上製備瞭TiO2-Ta2O5混閤薄膜,併對其光學性能進行研究.實驗結果錶明,TiO2-Ta2O5薄膜在可見光範圍內有較高的透射率,消光繫數在10-3～10-4數量級,摺射率在1.80～2.07範圍內變化(550nm),是理想的光學鍍膜材料.隨著Ta2O5含量從0增加到20%,光學帶隙從3.266eV單調增加到3.417eV,併用Kayanuma提齣的模型解釋瞭透射譜中吸收邊的漂移現象.
TiO2-Ta2O5박막시교신영적광학박막,유균균혼합적량충화합물박막재료작위막료연제이성,본문채용리자보조증발적방법,이불동배비적Ta2O5화TiO2혼합물위초시막료재K9파리상제비료TiO2-Ta2O5혼합박막,병대기광학성능진행연구.실험결과표명,TiO2-Ta2O5박막재가견광범위내유교고적투사솔,소광계수재10-3～10-4수량급,절사솔재1.80～2.07범위내변화(550nm),시이상적광학도막재료.수착Ta2O5함량종0증가도20%,광학대극종3.266eV단조증가도3.417eV,병용Kayanuma제출적모형해석료투사보중흡수변적표이현상.
