河北大学学报（自然科学版）
河北大學學報（自然科學版）
하북대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HEBEI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2007年
z1期
186-189
,共4页
肖集雄%李庆容%王定虎%徐晓英
肖集雄%李慶容%王定虎%徐曉英
초집웅%리경용%왕정호%서효영
ESD失效分析%失效机理%失效模式%失效分析技术
ESD失效分析%失效機理%失效模式%失效分析技術
ESD실효분석%실효궤리%실효모식%실효분석기술
随着微电子技术的迅猛发展和半导体器件尺寸的大幅度缩小,ESD失效分析已经成为微电子器件可靠性领域中的研究热点之一.概述了作为西方发达国家的典型代表美国由于ESD所造成的危害十分严重,因此美国学者对微电子器件的ESD失效分析进行了广泛研究.介绍了美国在该领域所取得的研究成果及进展状况并与我国学者所做的研究作了比较.美国在这领域所取得的新成果、新技术、研究所采用的新方法等等对我国的科学工作者是很有借鉴意义的.
隨著微電子技術的迅猛髮展和半導體器件呎吋的大幅度縮小,ESD失效分析已經成為微電子器件可靠性領域中的研究熱點之一.概述瞭作為西方髮達國傢的典型代錶美國由于ESD所造成的危害十分嚴重,因此美國學者對微電子器件的ESD失效分析進行瞭廣汎研究.介紹瞭美國在該領域所取得的研究成果及進展狀況併與我國學者所做的研究作瞭比較.美國在這領域所取得的新成果、新技術、研究所採用的新方法等等對我國的科學工作者是很有藉鑒意義的.
수착미전자기술적신맹발전화반도체기건척촌적대폭도축소,ESD실효분석이경성위미전자기건가고성영역중적연구열점지일.개술료작위서방발체국가적전형대표미국유우ESD소조성적위해십분엄중,인차미국학자대미전자기건적ESD실효분석진행료엄범연구.개소료미국재해영역소취득적연구성과급진전상황병여아국학자소주적연구작료비교.미국재저영역소취득적신성과、신기술、연구소채용적신방법등등대아국적과학공작자시흔유차감의의적.
