沉积参数对CVD金刚石晶粒尺寸的影响
침적삼수대CVD금강석정립척촌적영향
Influence of Deposition Parameters on Diamond Grain Size in DC Arc Plasma Jet CVD
  • 万方数据
    半导体学报 반도체학보
    CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
    2007年 z1期 348-351 ,共4页

    陈广超%兰昊%李彬%戴风伟%Askari J%黑立富%宋建华%李成名%唐伟忠%佟玉梅%吕反修

    진엄초%란호%리빈%대풍위%Askari J%흑립부%송건화%리성명%당위충%동옥매%려반수

    金刚石%晶粒尺寸%等离子体喷射CVD 金剛石%晶粒呎吋%等離子體噴射CVD
    금강석%정립척촌%등리자체분사CVD
    采用DC Arc Plasma Jet CVD方法制备了金刚石自支撑膜体,考察了温度分布、沉积腔压和CH4/H2等沉积参数对所制备金刚石膜体中的晶粒尺寸的影响.实验发现沿温度降低的方向和增加腔压会使晶粒尺寸变大,当CH4/H2超过15%后,有带刻面的晶粒出现.本次实验最大的晶粒对角线长度超过1mm.
    채용DC Arc Plasma Jet CVD방법제비료금강석자지탱막체,고찰료온도분포、침적강압화CH4/H2등침적삼수대소제비금강석막체중적정립척촌적영향.실험발현연온도강저적방향화증가강압회사정립척촌변대,당CH4/H2초과15%후,유대각면적정립출현.본차실험최대적정립대각선장도초과1mm.
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