半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2007年
z1期
153-156
,共4页
Al掺杂ZnO薄膜%氧氩流量比%射频反应溅射%透光率
Al摻雜ZnO薄膜%氧氬流量比%射頻反應濺射%透光率
Al참잡ZnO박막%양아류량비%사빈반응천사%투광솔
为了研究氧气对Al掺杂ZnO薄膜性能的影响,用射频反应磁控溅射方法制备了氧化锌掺铝(ZAO)薄膜,靶材为锌铝合金靶,并研究了薄膜的透光率跟氧氩流量比的关系以及同一氧氩流量比下薄膜光学性能随温度变化的规律.实验结果表明,200℃下氧氩流量比为1:35时有最佳的透光率.250℃下氧氩流量比为1:30时有最佳的透光率;300℃下氧氩流量比为1:15时有最佳的透光率.同一氧氩流量比1:25时,200℃下制备的ZAO薄膜有最佳的透光性.温度更高或者更低都导致薄膜的透光性能变差.
為瞭研究氧氣對Al摻雜ZnO薄膜性能的影響,用射頻反應磁控濺射方法製備瞭氧化鋅摻鋁(ZAO)薄膜,靶材為鋅鋁閤金靶,併研究瞭薄膜的透光率跟氧氬流量比的關繫以及同一氧氬流量比下薄膜光學性能隨溫度變化的規律.實驗結果錶明,200℃下氧氬流量比為1:35時有最佳的透光率.250℃下氧氬流量比為1:30時有最佳的透光率;300℃下氧氬流量比為1:15時有最佳的透光率.同一氧氬流量比1:25時,200℃下製備的ZAO薄膜有最佳的透光性.溫度更高或者更低都導緻薄膜的透光性能變差.
위료연구양기대Al참잡ZnO박막성능적영향,용사빈반응자공천사방법제비료양화자참려(ZAO)박막,파재위자려합금파,병연구료박막적투광솔근양아류량비적관계이급동일양아류량비하박막광학성능수온도변화적규률.실험결과표명,200℃하양아류량비위1:35시유최가적투광솔.250℃하양아류량비위1:30시유최가적투광솔;300℃하양아류량비위1:15시유최가적투광솔.동일양아류량비1:25시,200℃하제비적ZAO박막유최가적투광성.온도경고혹자경저도도치박막적투광성능변차.
