微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2007年
7期
321-324
,共4页
生物芯片%巨磁阻传感器%锁定放大电路
生物芯片%巨磁阻傳感器%鎖定放大電路
생물심편%거자조전감기%쇄정방대전로
EW_GI是基于GMR(巨磁阻)传感器,用于检测血样中特种病毒的正在研发的生物芯片系统.叙述了其巨磁阻传感器阵列以及后端锁相放大IC电路的设计及实现.该阵列包含32个GMR传感器单元和2个传感器参考单元,形成多路的半桥式惠斯通电桥,用于感应绑定磁球的附加磁场.每个单R,(100μm×100 μm)由长1 mm、宽7μm的巨磁电阻蜿蜒而成,该电阻采用[Ag(2 nm)/NiFe(6 nm)/Cu(2.2 nm)/CoFe(4 nm)]20结构,采用Ag作为镜面层,其饱和磁场小于等于30 mT,GMR值约6 %,单个传感器电阻约为780 Ω.配套的锁相放大芯片包括了信号通道、参考通道、前置低噪声放大器、带通滤波器、可控增益放大器、相敏检测电路、正交移相电路、差分直流放大电路八个部分,整个设计功耗小于50 mW@Vcc=3V.
EW_GI是基于GMR(巨磁阻)傳感器,用于檢測血樣中特種病毒的正在研髮的生物芯片繫統.敘述瞭其巨磁阻傳感器陣列以及後耑鎖相放大IC電路的設計及實現.該陣列包含32箇GMR傳感器單元和2箇傳感器參攷單元,形成多路的半橋式惠斯通電橋,用于感應綁定磁毬的附加磁場.每箇單R,(100μm×100 μm)由長1 mm、寬7μm的巨磁電阻蜿蜒而成,該電阻採用[Ag(2 nm)/NiFe(6 nm)/Cu(2.2 nm)/CoFe(4 nm)]20結構,採用Ag作為鏡麵層,其飽和磁場小于等于30 mT,GMR值約6 %,單箇傳感器電阻約為780 Ω.配套的鎖相放大芯片包括瞭信號通道、參攷通道、前置低譟聲放大器、帶通濾波器、可控增益放大器、相敏檢測電路、正交移相電路、差分直流放大電路八箇部分,整箇設計功耗小于50 mW@Vcc=3V.
EW_GI시기우GMR(거자조)전감기,용우검측혈양중특충병독적정재연발적생물심편계통.서술료기거자조전감기진렬이급후단쇄상방대IC전로적설계급실현.해진렬포함32개GMR전감기단원화2개전감기삼고단원,형성다로적반교식혜사통전교,용우감응방정자구적부가자장.매개단R,(100μm×100 μm)유장1 mm、관7μm적거자전조완연이성,해전조채용[Ag(2 nm)/NiFe(6 nm)/Cu(2.2 nm)/CoFe(4 nm)]20결구,채용Ag작위경면층,기포화자장소우등우30 mT,GMR치약6 %,단개전감기전조약위780 Ω.배투적쇄상방대심편포괄료신호통도、삼고통도、전치저조성방대기、대통려파기、가공증익방대기、상민검측전로、정교이상전로、차분직류방대전로팔개부분,정개설계공모소우50 mW@Vcc=3V.
