材料热处理学报
材料熱處理學報
재료열처이학보
TRANSACTIONS OF MATERIALS AND HEAT TREATMENT
2007年
z1期
279-283
,共5页
Ti6A14V%氧等离子体基离子注入%X射线光电子能谱%层状结构
Ti6A14V%氧等離子體基離子註入%X射線光電子能譜%層狀結構
Ti6A14V%양등리자체기리자주입%X사선광전자능보%층상결구
采用等离子体基氧离子注入技术对Ti6A14V合金进行表面改性.注入负脉冲电压分别为10、20、30、40、50kV,注入剂量为0.6×1017 ions/cm2.用XPS分析了注氧层中元素的分布和化学态.结果显示,注入电压增加,氧的浓度深度分布增加.注入氧元素的浓度深度分布曲线不同于束线式注入氧元素的类高斯分布,表面氧浓度最大,随着深度的增加出现一个略倾斜的氧浓度平台,该平台的宽度随注入电压增加而增加.氧离子注入引起基体元素Ti、Al、V的浓深分布发生变化,近表面区域Ti的原子百分含量减少,Al的含量增高,而V未检测到.并且随着注入电压的增加,近表面区域富集Al的浓度明显增加,富Al贫V的区域也明显加大.注入样品的改性层具有相似的层状结构,由表及里依次为表面污染层、TiO2和Al2O3组成薄的外层、内层在改性层中占的比例最大,由TiO2、Ti2O3、TiO、Ti、Al、Al2O3,V和VO组成.
採用等離子體基氧離子註入技術對Ti6A14V閤金進行錶麵改性.註入負脈遲電壓分彆為10、20、30、40、50kV,註入劑量為0.6×1017 ions/cm2.用XPS分析瞭註氧層中元素的分佈和化學態.結果顯示,註入電壓增加,氧的濃度深度分佈增加.註入氧元素的濃度深度分佈麯線不同于束線式註入氧元素的類高斯分佈,錶麵氧濃度最大,隨著深度的增加齣現一箇略傾斜的氧濃度平檯,該平檯的寬度隨註入電壓增加而增加.氧離子註入引起基體元素Ti、Al、V的濃深分佈髮生變化,近錶麵區域Ti的原子百分含量減少,Al的含量增高,而V未檢測到.併且隨著註入電壓的增加,近錶麵區域富集Al的濃度明顯增加,富Al貧V的區域也明顯加大.註入樣品的改性層具有相似的層狀結構,由錶及裏依次為錶麵汙染層、TiO2和Al2O3組成薄的外層、內層在改性層中佔的比例最大,由TiO2、Ti2O3、TiO、Ti、Al、Al2O3,V和VO組成.
채용등리자체기양리자주입기술대Ti6A14V합금진행표면개성.주입부맥충전압분별위10、20、30、40、50kV,주입제량위0.6×1017 ions/cm2.용XPS분석료주양층중원소적분포화화학태.결과현시,주입전압증가,양적농도심도분포증가.주입양원소적농도심도분포곡선불동우속선식주입양원소적류고사분포,표면양농도최대,수착심도적증가출현일개략경사적양농도평태,해평태적관도수주입전압증가이증가.양리자주입인기기체원소Ti、Al、V적농심분포발생변화,근표면구역Ti적원자백분함량감소,Al적함량증고,이V미검측도.병차수착주입전압적증가,근표면구역부집Al적농도명현증가,부Al빈V적구역야명현가대.주입양품적개성층구유상사적층상결구,유표급리의차위표면오염층、TiO2화Al2O3조성박적외층、내층재개성층중점적비례최대,유TiO2、Ti2O3、TiO、Ti、Al、Al2O3,V화VO조성.
