高密度排列大功率垂直腔面发射激光器列阵
고밀도배렬대공솔수직강면발사격광기렬진
Densely Packed High Power VCSEL Arrays
  • 万方数据
    半导体学报 반도체학보
    CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
    2007年 11期 1803-1806 ,共4页

    王青%曹玉莲%何国荣%韦欣%渠红伟%宋国峰%马文全%陈良惠

    왕청%조옥련%하국영%위흔%거홍위%송국봉%마문전%진량혜

    垂直腔面发射激光器%列阵%阈值电流%发散角%大功率 垂直腔麵髮射激光器%列陣%閾值電流%髮散角%大功率
    수직강면발사격광기%렬진%역치전류%발산각%대공솔
    报道了980nm高密度排列大功率垂直腔面发射激光器列阵的研制.列阵单元为蜂窝状密堆积排列,单元台面直径为70μm,氧化孔径为30μm,相邻单元间隔为100μm.制作了含7,19,37个单元的列阵,讨论了它们的阈值电流和远场特性.在室温连续工作条件下,3种列阵的最大输出功率分别为0.26,0.5和0.6W.其中含37个单元的列阵在6A脉冲电流(脉宽30μs,重复频率100Hz)激发下,输出功率达到1.4W.
    보도료980nm고밀도배렬대공솔수직강면발사격광기렬진적연제.렬진단원위봉와상밀퇴적배렬,단원태면직경위70μm,양화공경위30μm,상린단원간격위100μm.제작료함7,19,37개단원적렬진,토론료타문적역치전류화원장특성.재실온련속공작조건하,3충렬진적최대수출공솔분별위0.26,0.5화0.6W.기중함37개단원적렬진재6A맥충전류(맥관30μs,중복빈솔100Hz)격발하,수출공솔체도1.4W.
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