中国西部科技
中國西部科技
중국서부과기
SCIENCE AND TECHNOLOGY OF WEST CHINA
2007年
8期
131-132
,共2页
射频电源%谐振频率%反向设计
射頻電源%諧振頻率%反嚮設計
사빈전원%해진빈솔%반향설계
功率较大、频谱较宽的射频电源是D B D放电的关键设备,射频电源的功率和频谱宽度成为了研究DBD放电的瓶颈.本文利用手边的先进的射频电源,利用反向设计的思路,谈讨射频电源的设计要求.用谐振法测量平板放电设备谐振频率和射频电源的等效电感.
功率較大、頻譜較寬的射頻電源是D B D放電的關鍵設備,射頻電源的功率和頻譜寬度成為瞭研究DBD放電的瓶頸.本文利用手邊的先進的射頻電源,利用反嚮設計的思路,談討射頻電源的設計要求.用諧振法測量平闆放電設備諧振頻率和射頻電源的等效電感.
공솔교대、빈보교관적사빈전원시D B D방전적관건설비,사빈전원적공솔화빈보관도성위료연구DBD방전적병경.본문이용수변적선진적사빈전원,이용반향설계적사로,담토사빈전원적설계요구.용해진법측량평판방전설비해진빈솔화사빈전원적등효전감.
