金属学报
金屬學報
금속학보
ACTA METALLURGICA SINICA
2007年
3期
264-268
,共5页
谢正生%吴惠桢%劳燕锋%刘成%曹萌
謝正生%吳惠楨%勞燕鋒%劉成%曹萌
사정생%오혜정%로연봉%류성%조맹
低温金属键合%垂直腔面发射激光器%反射谱%光致荧光谱
低溫金屬鍵閤%垂直腔麵髮射激光器%反射譜%光緻熒光譜
저온금속건합%수직강면발사격광기%반사보%광치형광보
研究了Au-In-Au低温金属键合技术,并把它应用到长波长垂直腔面发射激光器(VCSEL)器件结构的制作中.利用该技术不仅有利于提升器件的热学性能,而且有利于提高VCSEL结构中分布Bragg反射腔镜(DBR)的反射率.实验结果表明,InP基外延半腔VCSEL结构成功地在200℃低温下金属键合到Si衬底上,键合强度高,键合质量达到了VCSEL器件工艺制作要求.对键合样品光学特性的分析表明,低温金属键合过程不影响量子阱有源区及DBR的光学性质,这对VCSEL器件结构的制作是有利的.这种低温金属键合技术,有望应用在许多半导体光电器件的制作中.
研究瞭Au-In-Au低溫金屬鍵閤技術,併把它應用到長波長垂直腔麵髮射激光器(VCSEL)器件結構的製作中.利用該技術不僅有利于提升器件的熱學性能,而且有利于提高VCSEL結構中分佈Bragg反射腔鏡(DBR)的反射率.實驗結果錶明,InP基外延半腔VCSEL結構成功地在200℃低溫下金屬鍵閤到Si襯底上,鍵閤彊度高,鍵閤質量達到瞭VCSEL器件工藝製作要求.對鍵閤樣品光學特性的分析錶明,低溫金屬鍵閤過程不影響量子阱有源區及DBR的光學性質,這對VCSEL器件結構的製作是有利的.這種低溫金屬鍵閤技術,有望應用在許多半導體光電器件的製作中.
연구료Au-In-Au저온금속건합기술,병파타응용도장파장수직강면발사격광기(VCSEL)기건결구적제작중.이용해기술불부유리우제승기건적열학성능,이차유리우제고VCSEL결구중분포Bragg반사강경(DBR)적반사솔.실험결과표명,InP기외연반강VCSEL결구성공지재200℃저온하금속건합도Si츤저상,건합강도고,건합질량체도료VCSEL기건공예제작요구.대건합양품광학특성적분석표명,저온금속건합과정불영향양자정유원구급DBR적광학성질,저대VCSEL기건결구적제작시유리적.저충저온금속건합기술,유망응용재허다반도체광전기건적제작중.
