金属功能材料
金屬功能材料
금속공능재료
METALLIC FUNCTIONAL MATERIALS
2007年
2期
1-4
,共4页
王合英%沙文杰%陈欢%孙文博
王閤英%沙文傑%陳歡%孫文博
왕합영%사문걸%진환%손문박
Ni80Fe20薄膜%基片温度%结构%各向异性磁电阻
Ni80Fe20薄膜%基片溫度%結構%各嚮異性磁電阻
Ni80Fe20박막%기편온도%결구%각향이성자전조
本文用磁控溅射方法制备出一系列Ni80Fe20磁性薄膜,研究不同基片温度对薄膜结构和各向异性磁电阻的影响.基片温度在150～180 ℃时制备的Ni80Fe20薄膜具有较大的各向异性磁电阻效应和较低的磁化饱和场.X射线衍射仪和扫描电子显微镜测量结果表明,基片温度通过改变薄膜的晶体结构、晶粒大小和均匀性等微观结构改变薄膜的零场电阻率和各向异性磁电阻,文章对实验结果做出了详细分析.
本文用磁控濺射方法製備齣一繫列Ni80Fe20磁性薄膜,研究不同基片溫度對薄膜結構和各嚮異性磁電阻的影響.基片溫度在150～180 ℃時製備的Ni80Fe20薄膜具有較大的各嚮異性磁電阻效應和較低的磁化飽和場.X射線衍射儀和掃描電子顯微鏡測量結果錶明,基片溫度通過改變薄膜的晶體結構、晶粒大小和均勻性等微觀結構改變薄膜的零場電阻率和各嚮異性磁電阻,文章對實驗結果做齣瞭詳細分析.
본문용자공천사방법제비출일계렬Ni80Fe20자성박막,연구불동기편온도대박막결구화각향이성자전조적영향.기편온도재150～180 ℃시제비적Ni80Fe20박막구유교대적각향이성자전조효응화교저적자화포화장.X사선연사의화소묘전자현미경측량결과표명,기편온도통과개변박막적정체결구、정립대소화균균성등미관결구개변박막적령장전조솔화각향이성자전조,문장대실험결과주출료상세분석.
