材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2006年
z2期
309-311
,共3页
黄常刚%何智兵%王朝阳%唐永建
黃常剛%何智兵%王朝暘%唐永建
황상강%하지병%왕조양%당영건
反应磁控溅射%膜系设计%阈值%激光反射膜%进展
反應磁控濺射%膜繫設計%閾值%激光反射膜%進展
반응자공천사%막계설계%역치%격광반사막%진전
反应磁控溅射广泛应用于制备光学薄膜.分析了高阈值激光反射膜膜层材料的选择及膜系设计,比较了目前制备高阈值激光反射膜的几种常用方法.重点论述了反应磁控溅射制备高阈值激光反射膜需要解决的两个问题:工作点的选择及控制方法;反应磁控溅射中的打火、靶中毒及阳极消失.并且提出了相应的解决方案.阐述了影响激光反射膜损伤阈值的因素以及反应磁控溅射制备高阈值激光反射膜的优势.
反應磁控濺射廣汎應用于製備光學薄膜.分析瞭高閾值激光反射膜膜層材料的選擇及膜繫設計,比較瞭目前製備高閾值激光反射膜的幾種常用方法.重點論述瞭反應磁控濺射製備高閾值激光反射膜需要解決的兩箇問題:工作點的選擇及控製方法;反應磁控濺射中的打火、靶中毒及暘極消失.併且提齣瞭相應的解決方案.闡述瞭影響激光反射膜損傷閾值的因素以及反應磁控濺射製備高閾值激光反射膜的優勢.
반응자공천사엄범응용우제비광학박막.분석료고역치격광반사막막층재료적선택급막계설계,비교료목전제비고역치격광반사막적궤충상용방법.중점논술료반응자공천사제비고역치격광반사막수요해결적량개문제:공작점적선택급공제방법;반응자공천사중적타화、파중독급양겁소실.병차제출료상응적해결방안.천술료영향격광반사막손상역치적인소이급반응자공천사제비고역치격광반사막적우세.
