稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2006年
4期
542-545
,共4页
王天生%田永君%彭炜%漆汉宏%李林
王天生%田永君%彭煒%漆漢宏%李林
왕천생%전영군%팽위%칠한굉%리림
YBa2Cu3O7-δ超导薄膜%Ba0.1Sr0.9TiO3/YBa2Cu3O7-δ异质结构%外延生长%脉冲激光沉积
YBa2Cu3O7-δ超導薄膜%Ba0.1Sr0.9TiO3/YBa2Cu3O7-δ異質結構%外延生長%脈遲激光沉積
YBa2Cu3O7-δ초도박막%Ba0.1Sr0.9TiO3/YBa2Cu3O7-δ이질결구%외연생장%맥충격광침적
用脉冲激光沉积法在斜切(001)SrTiO3单晶基片上生长了c轴取向的YBa2Cu3O7-δ超导薄膜,在斜切(001)LaAlO3单晶基片上生长了Ba0.1Sr0.9TiO3/YBa2Cu3O7-δ双层薄膜,并用扫描电镜和透射电镜对薄膜组织进行了表征.结果表明,在1°～3°斜切的SrTiO3基片上生长的YBa2Cu3O7-δ薄膜,呈现台阶流动(step flow)到三维岛状生长的转变;而6°～15°斜切基片上生长的YBa2Cu3O7-δ薄膜为完全台阶流动生长.在1.2°斜切的LaAlO3基片上原位制备了良好异质外延生长的Ba0.1Sr0.9TiO3/YBa2Cu3O7-δ双层薄膜.在77 K,1 MHz频率和±30 V直流偏压下,测定了其电容-电压特性,确定其介电常数、可调谐性和品质因数分别为1200,60%和133.表明该Ba0.1Sr0.9TiO3薄膜可应用于在液氮温度下工作的可调谐微波器件.
用脈遲激光沉積法在斜切(001)SrTiO3單晶基片上生長瞭c軸取嚮的YBa2Cu3O7-δ超導薄膜,在斜切(001)LaAlO3單晶基片上生長瞭Ba0.1Sr0.9TiO3/YBa2Cu3O7-δ雙層薄膜,併用掃描電鏡和透射電鏡對薄膜組織進行瞭錶徵.結果錶明,在1°～3°斜切的SrTiO3基片上生長的YBa2Cu3O7-δ薄膜,呈現檯階流動(step flow)到三維島狀生長的轉變;而6°～15°斜切基片上生長的YBa2Cu3O7-δ薄膜為完全檯階流動生長.在1.2°斜切的LaAlO3基片上原位製備瞭良好異質外延生長的Ba0.1Sr0.9TiO3/YBa2Cu3O7-δ雙層薄膜.在77 K,1 MHz頻率和±30 V直流偏壓下,測定瞭其電容-電壓特性,確定其介電常數、可調諧性和品質因數分彆為1200,60%和133.錶明該Ba0.1Sr0.9TiO3薄膜可應用于在液氮溫度下工作的可調諧微波器件.
용맥충격광침적법재사절(001)SrTiO3단정기편상생장료c축취향적YBa2Cu3O7-δ초도박막,재사절(001)LaAlO3단정기편상생장료Ba0.1Sr0.9TiO3/YBa2Cu3O7-δ쌍층박막,병용소묘전경화투사전경대박막조직진행료표정.결과표명,재1°～3°사절적SrTiO3기편상생장적YBa2Cu3O7-δ박막,정현태계류동(step flow)도삼유도상생장적전변;이6°～15°사절기편상생장적YBa2Cu3O7-δ박막위완전태계류동생장.재1.2°사절적LaAlO3기편상원위제비료량호이질외연생장적Ba0.1Sr0.9TiO3/YBa2Cu3O7-δ쌍층박막.재77 K,1 MHz빈솔화±30 V직류편압하,측정료기전용-전압특성,학정기개전상수、가조해성화품질인수분별위1200,60%화133.표명해Ba0.1Sr0.9TiO3박막가응용우재액담온도하공작적가조해미파기건.
