CAJ | 학술논문

硅发光对于在单一硅片上实现光电集成是至关重要的.目前已有的使硅产生发光的方法有:掺杂深能级杂质、掺稀土离子、多孔硅、纳米硅以及Si/SiO2超晶格.声空化所引发的特殊的物理、化学环境为制备光致发光多孔硅薄膜提供了一条重要的途径.实验表明,声化学处理对于改善多孔硅的微结构,提高发光效率和发光稳定性都是一项非常有效的技术.超声波加强阳极电化学腐蚀制备发光多孔硅薄膜,比目前通用的常规方法制备的样品显示出更优良的性质.这种超声波的化学效应源于声空化,即腐蚀液中气泡的形成、生长和急剧崩溃.在多孔硅的腐蚀过程中,由于超声波的作用增加了孔中氢气泡的逸出比率和塌缩,有利于孔沿垂直方向的腐蚀,使多孔硅光致发光峰的半峰全宽压缩到了3.8 nm.
규발광대우재단일규편상실현광전집성시지관중요적.목전이유적사규산생발광적방법유:참잡심능급잡질、참희토리자、다공규、납미규이급Si/SiO2초정격.성공화소인발적특수적물리、화학배경위제비광치발광다공규박막제공료일조중요적도경.실험표명,성화학처리대우개선다공규적미결구,제고발광효솔화발광은정성도시일항비상유효적기술.초성파가강양겁전화학부식제비발광다공규박막,비목전통용적상규방법제비적양품현시출경우량적성질.저충초성파적화학효응원우성공화,즉부식액중기포적형성、생장화급극붕궤.재다공규적부식과정중,유우초성파적작용증가료공중경기포적일출비솔화탑축,유리우공연수직방향적부식,사다공규광치발광봉적반봉전관압축도료3.8 nm.