光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2007年
11期
1317-1321
,共5页
赵庚申%王庆章%郭天勇%赵二刚
趙庚申%王慶章%郭天勇%趙二剛
조경신%왕경장%곽천용%조이강
超声喷雾热分解%太阳电池TCO膜%掺氟二氧化锡薄膜%掺杂比
超聲噴霧熱分解%太暘電池TCO膜%摻氟二氧化錫薄膜%摻雜比
초성분무열분해%태양전지TCO막%참불이양화석박막%참잡비
对基于超声喷雾热分解工艺制备400mm×400mm大面积太阳电池TCO膜和制备大面积SnO2∶F薄膜工艺作了研究,包括温度、掺杂比、酒精含量、载气流量和喷射距离等工艺参数对薄膜性能的影响.并将实验制得的薄膜用于制备非晶硅薄膜电池,其效率达到了5.96%.
對基于超聲噴霧熱分解工藝製備400mm×400mm大麵積太暘電池TCO膜和製備大麵積SnO2∶F薄膜工藝作瞭研究,包括溫度、摻雜比、酒精含量、載氣流量和噴射距離等工藝參數對薄膜性能的影響.併將實驗製得的薄膜用于製備非晶硅薄膜電池,其效率達到瞭5.96%.
대기우초성분무열분해공예제비400mm×400mm대면적태양전지TCO막화제비대면적SnO2∶F박막공예작료연구,포괄온도、참잡비、주정함량、재기류량화분사거리등공예삼수대박막성능적영향.병장실험제득적박막용우제비비정규박막전지,기효솔체도료5.96%.
