冶金分析
冶金分析
야금분석
METALLURGICAL ANALYSIS
2004年
z2期
584-586
,共3页
金属β-二酮化合物%乙酰丙酮铱%质量传输速率
金屬β-二酮化閤物%乙酰丙酮銥%質量傳輸速率
금속β-이동화합물%을선병동의%질량전수속솔
为了确定以乙酰丙酮铱这种金属β-二酮化合物为沉积源的金属铱MOCVD的具体工艺参数,针对基体面积较大或不规则的工艺条件,本文自行设计了能在不同温度下适时采集数据的微量失重-时间数据采集记录仪,进行了以Ar气为载气,温度在220℃-250℃之间的乙酰丙酮铱质量传输过程的试验研究,发现质量传输速度不仅与载气、温度有关,而且与有效表面积有关.实验给出了了相关温度下质量传输速度的有关数据.
為瞭確定以乙酰丙酮銥這種金屬β-二酮化閤物為沉積源的金屬銥MOCVD的具體工藝參數,針對基體麵積較大或不規則的工藝條件,本文自行設計瞭能在不同溫度下適時採集數據的微量失重-時間數據採集記錄儀,進行瞭以Ar氣為載氣,溫度在220℃-250℃之間的乙酰丙酮銥質量傳輸過程的試驗研究,髮現質量傳輸速度不僅與載氣、溫度有關,而且與有效錶麵積有關.實驗給齣瞭瞭相關溫度下質量傳輸速度的有關數據.
위료학정이을선병동의저충금속β-이동화합물위침적원적금속의MOCVD적구체공예삼수,침대기체면적교대혹불규칙적공예조건,본문자행설계료능재불동온도하괄시채집수거적미량실중-시간수거채집기록의,진행료이Ar기위재기,온도재220℃-250℃지간적을선병동의질량전수과정적시험연구,발현질량전수속도불부여재기、온도유관,이차여유효표면적유관.실험급출료료상관온도하질량전수속도적유관수거.
