功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2004年
z1期
620-622,629
,共4页
杜永胜%王波%许仕龙%于敦波%李彤%严辉%张深根
杜永勝%王波%許仕龍%于敦波%李彤%嚴輝%張深根
두영성%왕파%허사룡%우돈파%리동%엄휘%장심근
LSMO薄膜%SMO缓冲层%择优取向生长%界面扩散
LSMO薄膜%SMO緩遲層%擇優取嚮生長%界麵擴散
LSMO박막%SMO완충층%택우취향생장%계면확산
利用磁控溅射方法在Si(100)衬底上首先生长SrMnO3(SMO)作为缓冲层,再沉积La0.8Sr0.2MnO3(LSMO)薄膜,得到(110)面择优生长的LSMO/SMO双层结构.利用X射线衍射仪分析了SMO缓冲层的结构特征对LSMO薄膜择优取向生长的影响;利用Rutherford背散射(RBS)分析了LSMO/SMO间的界面情况.结果表明:以SMO作为单一缓冲层时,不仅可以实现LSMO薄膜在Si(100)衬底上的(110)面的择优生长,而且LSMO/SMO的界面扩散现象也不明显.
利用磁控濺射方法在Si(100)襯底上首先生長SrMnO3(SMO)作為緩遲層,再沉積La0.8Sr0.2MnO3(LSMO)薄膜,得到(110)麵擇優生長的LSMO/SMO雙層結構.利用X射線衍射儀分析瞭SMO緩遲層的結構特徵對LSMO薄膜擇優取嚮生長的影響;利用Rutherford揹散射(RBS)分析瞭LSMO/SMO間的界麵情況.結果錶明:以SMO作為單一緩遲層時,不僅可以實現LSMO薄膜在Si(100)襯底上的(110)麵的擇優生長,而且LSMO/SMO的界麵擴散現象也不明顯.
이용자공천사방법재Si(100)츤저상수선생장SrMnO3(SMO)작위완충층,재침적La0.8Sr0.2MnO3(LSMO)박막,득도(110)면택우생장적LSMO/SMO쌍층결구.이용X사선연사의분석료SMO완충층적결구특정대LSMO박막택우취향생장적영향;이용Rutherford배산사(RBS)분석료LSMO/SMO간적계면정황.결과표명:이SMO작위단일완충층시,불부가이실현LSMO박막재Si(100)츤저상적(110)면적택우생장,이차LSMO/SMO적계면확산현상야불명현.
