微型平面薄膜气敏元件及过冲驰豫现象的机理
미형평면박막기민원건급과충치예현상적궤리
  • 万方数据
    电子测量与仪器学报 전자측량여의기학보
    JOURNAL OF ELECTRONIC MEASUREMENT AND INSTRUMENT
    2004年 z2期 1209-1215 ,共7页

    邢建平%李秀宇%曾繁泰%李伟业%蔡成森%李娟%孟令国

    형건평%리수우%증번태%리위업%채성삼%리연%맹령국

    薄膜%气敏%过冲驰豫%Matlab 薄膜%氣敏%過遲馳豫%Matlab
    박막%기민%과충치예%Matlab
    利用粉末反溅研制了SnO2/CeO2Si基微型平面薄膜元件,最佳乙醇灵敏度达到80,响应时间＜10s,恢复时间＜15s;采用闭式实验测量方法时出现了过冲驰豫现象,对其产生机理的物理过程进行了分析,找出了规律,并使用Matlab软件进行了仿真.
    이용분말반천연제료SnO2/CeO2Si기미형평면박막원건,최가을순령민도체도80,향응시간＜10s,회복시간＜15s;채용폐식실험측량방법시출현료과충치예현상,대기산생궤리적물리과정진행료분석,조출료규률,병사용Matlab연건진행료방진.
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