机电产品开发与创新
機電產品開髮與創新
궤전산품개발여창신
DEVELOPMENT & INNOVATION OF MACHINERY & ELECTRICAL PRODUCTS
2007年
5期
150-152
,共3页
蔡明知%宋洪侠%曹铁泽%王晓东
蔡明知%宋洪俠%曹鐵澤%王曉東
채명지%송홍협%조철택%왕효동
高精度位移传感器%位置敏感器件(PSD)%激光三角法%放大电路
高精度位移傳感器%位置敏感器件(PSD)%激光三角法%放大電路
고정도위이전감기%위치민감기건(PSD)%격광삼각법%방대전로
介绍了PSD器件的工作原理,对基于三角法测量原理的传感器主要结构参数进行了分析,给出了设计的传感器外形.并设计一种舍有多种放大倍数的PSD检测电路,可实现测量中对环境变化的自适应能力.最后分析了影响传感器测量精度的各种因素,并讨论了消除的方法.
介紹瞭PSD器件的工作原理,對基于三角法測量原理的傳感器主要結構參數進行瞭分析,給齣瞭設計的傳感器外形.併設計一種捨有多種放大倍數的PSD檢測電路,可實現測量中對環境變化的自適應能力.最後分析瞭影響傳感器測量精度的各種因素,併討論瞭消除的方法.
개소료PSD기건적공작원리,대기우삼각법측량원리적전감기주요결구삼수진행료분석,급출료설계적전감기외형.병설계일충사유다충방대배수적PSD검측전로,가실현측량중대배경변화적자괄응능력.최후분석료영향전감기측량정도적각충인소,병토론료소제적방법.
