国外电子元器件
國外電子元器件
국외전자원기건
INTERNATIONAL ELECTRONIC ELEMENTS
2007年
9期
33-36
,共4页
MEMS光栅%高压运算放大器%PA69%自激
MEMS光柵%高壓運算放大器%PA69%自激
MEMS광책%고압운산방대기%PA69%자격
根据MEMS光栅的工作特点及结构参数,提取光栅的等效电容,并采用高压运算放大器PA69研制出一种新型的MEMS光栅的动态驱动电路.为了避免自激振荡的发生,电路中采用了频率补偿和并联反馈电容的方法,有效提高了电路的稳定性.经过测试,其动态性能与PSPICE10仿真的结果非常吻合.该动态驱动电路完全能够满足MEMS光栅动态复杂控制的需要.
根據MEMS光柵的工作特點及結構參數,提取光柵的等效電容,併採用高壓運算放大器PA69研製齣一種新型的MEMS光柵的動態驅動電路.為瞭避免自激振盪的髮生,電路中採用瞭頻率補償和併聯反饋電容的方法,有效提高瞭電路的穩定性.經過測試,其動態性能與PSPICE10倣真的結果非常吻閤.該動態驅動電路完全能夠滿足MEMS光柵動態複雜控製的需要.
근거MEMS광책적공작특점급결구삼수,제취광책적등효전용,병채용고압운산방대기PA69연제출일충신형적MEMS광책적동태구동전로.위료피면자격진탕적발생,전로중채용료빈솔보상화병련반궤전용적방법,유효제고료전로적은정성.경과측시,기동태성능여PSPICE10방진적결과비상문합.해동태구동전로완전능구만족MEMS광책동태복잡공제적수요.
