压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2003年
3期
179-183
,共5页
张武%赵勇%陈建军%杨骊先%郭鼎康%唐锦春%于浩
張武%趙勇%陳建軍%楊驪先%郭鼎康%唐錦春%于浩
장무%조용%진건군%양려선%곽정강%당금춘%우호
扰动压电声表面波%热表面封装应力%压电谐振结构%温度/电极影响%热-电-机耦合有限元
擾動壓電聲錶麵波%熱錶麵封裝應力%壓電諧振結構%溫度/電極影響%熱-電-機耦閤有限元
우동압전성표면파%열표면봉장응력%압전해진결구%온도/전겁영향%열-전-궤우합유한원
压电石英声表面波(PSAW)装置结构的实际扰动压电声表面波(DPSAW)特性受电极几何材料参数的扰动影响,而温度又将进一步影响DPSAW基频和波速.除了电极影响外,该文还考虑高阶温度系数的影响.由于对带热带电极各向异性分层压电材料结构,还没有或很难获得理论解,该文首次利用高效高精度三参量摄动热-机-电有限单元方法,即声元和应力元法,力图为计算热压电/力学奠定理论基础,优化电极厚度.精确计算了在一定温度下各阶温度系数对SAW谐振器波速波频的影响,以利于温度/电极耦合补偿设计.简单模拟计算热表面贴片封装应力(SMS)变形,得到了一系列不同温度下有用的计算值.自由表面SAW理论解和室温试验数据与数值计算结果一致,验证了该热压电有限元理论的可靠性.
壓電石英聲錶麵波(PSAW)裝置結構的實際擾動壓電聲錶麵波(DPSAW)特性受電極幾何材料參數的擾動影響,而溫度又將進一步影響DPSAW基頻和波速.除瞭電極影響外,該文還攷慮高階溫度繫數的影響.由于對帶熱帶電極各嚮異性分層壓電材料結構,還沒有或很難穫得理論解,該文首次利用高效高精度三參量攝動熱-機-電有限單元方法,即聲元和應力元法,力圖為計算熱壓電/力學奠定理論基礎,優化電極厚度.精確計算瞭在一定溫度下各階溫度繫數對SAW諧振器波速波頻的影響,以利于溫度/電極耦閤補償設計.簡單模擬計算熱錶麵貼片封裝應力(SMS)變形,得到瞭一繫列不同溫度下有用的計算值.自由錶麵SAW理論解和室溫試驗數據與數值計算結果一緻,驗證瞭該熱壓電有限元理論的可靠性.
압전석영성표면파(PSAW)장치결구적실제우동압전성표면파(DPSAW)특성수전겁궤하재료삼수적우동영향,이온도우장진일보영향DPSAW기빈화파속.제료전겁영향외,해문환고필고계온도계수적영향.유우대대열대전겁각향이성분층압전재료결구,환몰유혹흔난획득이론해,해문수차이용고효고정도삼삼량섭동열-궤-전유한단원방법,즉성원화응력원법,력도위계산열압전/역학전정이론기출,우화전겁후도.정학계산료재일정온도하각계온도계수대SAW해진기파속파빈적영향,이리우온도/전겁우합보상설계.간단모의계산열표면첩편봉장응력(SMS)변형,득도료일계렬불동온도하유용적계산치.자유표면SAW이론해화실온시험수거여수치계산결과일치,험증료해열압전유한원이론적가고성.
