光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2000年
5期
19-22
,共4页
曾红军%陈波%郭履容%邱传凯%杜春雷
曾紅軍%陳波%郭履容%邱傳凱%杜春雷
증홍군%진파%곽리용%구전개%두춘뢰
掩模移动技术%微光学元件%边框效应
掩模移動技術%微光學元件%邊框效應
엄모이동기술%미광학원건%변광효응
掩模移动技术是一种通过移动掩模调制曝光量的连续面形微光学制作技术,其工作的局限性在于该技术对所制元件的对称性要求高,因此限制了制作复杂面形的功能.本文从分析掩模移动过程中的边框效应入手,阐明了消除这一效应负面影响的办法,并利用它来降低掩模移动技术的对称性要求,在实验中制作出了面形复杂的连续浮雕微光学元件.
掩模移動技術是一種通過移動掩模調製曝光量的連續麵形微光學製作技術,其工作的跼限性在于該技術對所製元件的對稱性要求高,因此限製瞭製作複雜麵形的功能.本文從分析掩模移動過程中的邊框效應入手,闡明瞭消除這一效應負麵影響的辦法,併利用它來降低掩模移動技術的對稱性要求,在實驗中製作齣瞭麵形複雜的連續浮彫微光學元件.
엄모이동기술시일충통과이동엄모조제폭광량적련속면형미광학제작기술,기공작적국한성재우해기술대소제원건적대칭성요구고,인차한제료제작복잡면형적공능.본문종분석엄모이동과정중적변광효응입수,천명료소제저일효응부면영향적판법,병이용타래강저엄모이동기술적대칭성요구,재실험중제작출료면형복잡적련속부조미광학원건.
