传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2000年
5期
17-18,21
,共3页
阵列%压力传感器%CMOS工艺
陣列%壓力傳感器%CMOS工藝
진렬%압력전감기%CMOS공예
介绍了一种阵列式硅压阻压力传感器,就其设计结构、生长工艺及实验结果进行了概要地阐述,其生长工艺将微机械加工工艺和半导体平面CMOS工艺融为一体.
介紹瞭一種陣列式硅壓阻壓力傳感器,就其設計結構、生長工藝及實驗結果進行瞭概要地闡述,其生長工藝將微機械加工工藝和半導體平麵CMOS工藝融為一體.
개소료일충진렬식규압조압력전감기,취기설계결구、생장공예급실험결과진행료개요지천술,기생장공예장미궤계가공공예화반도체평면CMOS공예융위일체.
